365wm完美体育真空提醒您，真空镀膜机精抽太慢主要从以下几个方面进行原因查找：

　　一、扩散泵可能不太给力。

　　解决办法：可以用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限，然后进行对比。

　　二、真空系统有微漏。

　　解决办法：这就需要慢慢检漏，看看保真空时间能不能达不达标

　　三、箱体太脏，太脏放气量就大了。

　　解决办法：清洗箱体

　　四、前级不行机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行。

　　解决办法：可以用电阻规单独检测前级管道。

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