喷吹法是氦质谱检漏仪最常用，最方便的一种检漏方法。

　　检漏时首先预抽被检件，并调整检漏仪，使其处于正常的工作状态;然后开启检漏仪节流阀，使被检件与检漏仪连通，调整好检漏仪，使其处于待检漏状态;用喷枪(或喷嘴)在被检件可能存在漏孔的部位喷吹氦气。

　　喷吹一定时间后，检漏仪即可指示出被检件是否存在漏孔及漏孔的漏率。

　　检漏时，喷吹示漏气体时间要适当，太短时检漏灵敏度低，太长时检漏效率低。如果要求检验灵敏度为qldmin;当检漏仪接在高真空侧时，其喷吹时间ts，可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得为

　　ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ))

　　当检漏仪接在前级真空侧时，可求得

　　ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ))

　　喷枪移动速度U与喷嘴直径d及喷吹时间ts有如下关系

　　υ=10d/ts

　　检漏时，以式(15-26)计算的移动喷枪速度进行喷吹时，较为合适。

　　喷吹法检漏可采用标准漏孔比对法确定漏孔漏率。若已知一标准漏子L的标称漏率为qLo，将其设置在与被检漏孔基本相当的位置，用氦喷吹醛的输出信号为J。，而用相同示漏气体在同样条件下喷吹被检漏孔时，其输出信号为I，则被检漏孔的漏率为

　　qL=I/Is×qLo

　　喷吹法检漏时应注意的问题是：

　　(1)由于氦气轻，喷吹检漏时，应从被检件上方开始检漏，逐渐向被检件下方移动喷枪;由靠近检漏仪处检漏逐渐移至远处;先用大气流粗检找出漏孔所在区域后，再用小气流精检以找出漏孔的确切的位置。

　　(2)当存在两个相距很近的可疑漏孔时，应注意喷枪喷出氦气流方向(或盖住一个漏孔点)进行检漏。

　　(3)检出的漏孔应复查。

　　(4)检漏场地要有良好的通风条件，但不得影响喷枪喷出的氦气的流动的方向。

　　本文由365wm完美体育真空收集整理，我公司是专业提供进口真空镀膜机销售、维修;polycold销售和维修的企业，为广大客户提供真空镀膜全套最优解决方案，欢迎来电咨询洽谈!

推荐阅读

铝镁合金在真空镀膜中的运用

磁控管式真空计介绍及作用