Polycold 快速循环水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麦斯纳(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低温盘管(Cryocoil)的超低温表面上凝结,从而达到捕集水汽的目的。
A 冷冻机 B 冷媒传送管 C 冻连接头 D 真空腔壁 E 冷冻界面
A 冷冻机 B 冷媒传送管 C 真空控制阀 D 冷冻盘 E 真空帮浦
A. 冷媒流回口#1
B.冷媒流出口#1
C.温度线集中孔
D. 各段温度显示及切换
E. 系统控制模组可帮助显示检修相关问题
F. 除霜/待机/冷冻切换功能开关及显示
G. 手册置放处
H. 规格牌
I.遥控连接口,可进行遥控控制
J.主电源开关,当切换到OFF(O)位置时,主电源切断
K.冷媒及真空Pump连接口
L.冷却水进、出连接口
M. 压缩机高低压力开关表
N.冷媒流回口#2(第二组)
O.冷媒流出口#2(第二组)
P. 除霜/待机/冷冻切换功能开关及显示(第二组)
Q. Low voltage box 低电压箱
R. High voltage box 高电压箱
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